氦氖激光器是发明时间zui早、技术zui成熟、应用的激光器之一。由于气体原子具有确定的能级结构,在外界电子激发下将发生能级跃迁,产生受激辐射发出激光,因此氦氖激光器产生的激光是波长纯净的单色光,波长误差只有几纳米,并具有极大的相干长度,并且不受温度波动影响,加上谐振腔的作用,保障了激光输出具有良好的准直性(发散角只有几个毫弧度)。在需要良好单色光、相干性和准直性的场合,特别是光器具有广泛应用。氦氖激光器主要缺点是需要数千伏的高压直流供电,电源易出故障,此外氦氖激光器仅有单一的红光,没有其他波长的光,选择余地受限制。